掃描電鏡等離子清洗機

簡要描述：CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程等離子清洗源設計，清洗快速、高效、低轟擊損傷，掃描電鏡等離子清洗機主要用于 SEM 或 FIB 等腔體內碳氫化合物的清洗。

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詳細介紹

品牌	CIF	產地類別	國產
應用領域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產業(yè),地礦,能源

產品特點

◆ 遠程離子清洗源

◆ 掃描電鏡等離子清洗機清洗快速、高效

◆ 低轟擊損傷

掃描電鏡等離子清洗機技術參數

產品型號	CIF-SEM
法蘭接口	KF40（CF40）
工作氣壓	0.3-3Pa
等離子電源	13.56MHz 射頻電源，射頻功率 5-150W 可調
等離子電源	遠程等離子源，自動匹配器
氣體控制	標配單路質量流量計（MFC）可選雙路。0-500sccm，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇
真空保證	真空計和電磁閥安全互鎖
操控方式	7 寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面
電源 / 功率	AC220V，50/60Hz，300W
可選配件	可選氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器，氫氣純度﹥ 99.999％，輸出流量 0-500SCCM
質量保證	二年質保，終身維護
產品尺寸	L320xW385xH465mm
包裝尺寸	L440xW535xH725mm
整機重量	25

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