等離子表面處理儀具有哪些功能特性？
更新時(shí)間：2020-05-06 點(diǎn)擊次數(shù)：1348
等離子體就是指全部或部分離子化的氣體，它們有電子、離子，還包括激發(fā)分子、自由基和光子等高能活性成分，且自由電子和離子所帶正、負(fù)電荷總和*抵消。
1、等離子清洗：去除基體材料表面的無(wú)機(jī)物或弱鍵以及典型-CH基有機(jī)污染物和氧化物。主要特點(diǎn)：只與材料表面納米級(jí)的厚度起反應(yīng)，而對(duì)內(nèi)部無(wú)任何侵蝕，得到超高潔凈表面為下道工序做好準(zhǔn)備。
2、等離子表面處理儀活化主要特點(diǎn)：可使聚合物表面出現(xiàn)部分活性原子、自由基和不飽和鍵，這些活性基團(tuán)與等離子體中的活性粒子發(fā)生反應(yīng)生成新的活性基團(tuán)，從而增加表面能量，改變表面的化學(xué)特性，增強(qiáng)表面附著力、粘結(jié)力。
3、等離子刻蝕：利用典型的氣體組合形成具有強(qiáng)烈蝕刻性的氣相等離子體與基體材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成如CO、CO2、H2O等揮發(fā)氣體，從而達(dá)到蝕刻的目的。
4、等離子表面處理儀涂層(接枝、沉積)：兩種以上氣體(或單體)同時(shí)進(jìn)入反應(yīng)腔體，氣體在等離子環(huán)境下會(huì)聚合。這種應(yīng)用比活化和清洗的要求更嚴(yán)格一些。典型的應(yīng)用是保護(hù)層的形成，應(yīng)用于燃料容器、防刮表面、類似聚四氟乙烯(PTFE)材質(zhì)的涂鍍、防水鍍層等。
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